理化学研究所 (理研) と宇都宮大学らによる国際共同研究グループは、波長 2 μ m の固体レーザーとマルチレーザー照射法を組み合わせることで極端紫外線 (EUV) 光変換効率を 40% も高めることに成功し、その有用性を実証した。EUV 露光装置の省電力化につながるとみている。 [続きを読む]