NTT は、AI とロボットを組み合わせた自律実験によって半導体材料の成膜条件を最適化するとともに、その過程で得られたデータから、人が理解/転用できる「成膜ルール」を抽出する技術を実証した。次世代パワー半導体材料として期待されるβ型酸化ガリウム (β -Ga2O3) を用いた実験では、「スパッタ法として世界で初めて」(NTT) の単結晶薄膜の作製にも成功した。 [続きを読む]