ノベルクリスタルテクノロジーはファインセラミックセンター (JFCC) と共同で、次世代パワー半導体材料の「酸化ガリウム」について、結晶中の欠陥を 3 次元的に可視化する技術を開発した。非破壊で高速に大面積の欠陥分布を評価でき、検出精度も高い。 [続きを読む]