2026/07/14 シェア 数百層の 3D NAND 内部構造を非破壊で観察可能に、東北大 東北大学は、高アスペクト比エッチングホールの構造を非破壊で 3 次元 (3D) 画像として可視化することに成功した。数百層の 3D NAND フラッシュメモリ開発などにおいて、その内部構造を非破壊で評価することが可能となる。 [続きを読む] 提供元 : EE Times Japan
.png)
pc.png)