2026/07/08 シェア 「世界最高精度」で曲面ミラーの絶対形状を測定、産総研 産業技術総合研究所 (産総研) は、曲面ミラーの絶対形状を非接触かつ 2nm 精度で計測できる装置を開発した。極端紫外線 (EUV) 露光装置や放射線施設などで用いられる光学素子の製造や開発、評価といった用途に適用できる。 [続きを読む] 提供元 : EE Times Japan
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