2026/06/29 シェア レゾナック、高純度フッ化水素ガスの製造体制強化 レゾナックは、半導体回路のエッチング工程で用いられる高純度フッ化水素ガス (HF ガス) の製造体制を強化する。2026 年内に徳山事業所 (山口県周南市) で製造を始める。これにより、同社の HF ガス国内製造拠点は川崎事業所との 2 拠点体制となる。 [続きを読む] 提供元 : EE Times Japan