ウシオ電機は「JPCA Show」(2026 年 6 月 10 ～ 12 日、東京ビッグサイト) で、半導体アドバンストパッケージ向けのステッパー露光装置「UX-59113」の概要を展示した。L/S 1.5 μ m の解像度で、100mm 角以上の大面積を 1 ショットで露光できる。後工程の自動化を見据え、基板自動搬送装置 (EFEM) や無人搬送車 (AGV) に対応していることも特徴だ。 [続きを読む]