東京エレクトロン デバイス (TED) とアイテスは、SiC デバイスの潜在欠陥をウエハーレベルで可視化する検査ソリューション分野で協業する。UV レーザー技術を用いた新製品「SiC 潜在欠陥検査装置/通電劣化シミュレーター ITS-SCX100」の開発などを行っていく。 [続きを読む]