住友化学は、大阪工場 (大阪市此花区) 内に EUV レジストおよび ArF レジストといった先端半導体用フォトレジストの製造プロセス開発や品質評価/分析などを行う機能を集約するための新たな「技術棟」を建設する。完成は 2027 年度末の予定だ。 [続きを読む]