2026/03/24 シェア 半導体ウエハーの状態で絶縁膜の電気的特性を評価 東レリサーチセンター (TRC) は、膜厚が数ナノメートルと極めて薄い絶縁膜の電気的特性などを、ウエハーの状態で総合評価するサービスを始めた。これまでのように評価用デバイスなどを作製する必要がなく、開発サイクルを大幅に短縮できるという。 [続きを読む] 提供元 : EE Times Japan
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