2026/02/26 シェア 東京応化が EUV 向けフォトレジスト開発強化、英 IM に出資 東京応化工業 (TOK) は 2026 年 2 月、EUV リソグラフィ向けフォトレジスト材料の開発を加速するため、イギリス Irresistible Materials に対し戦略的投資を行うとともに、共同開発を行うことで提携した。 [続きを読む] 提供元 : EE Times Japan
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