東京エレクトロンデバイス (以下、TED) は 2025 年 12 月、製造業向けの技術カンファレンス「TED TECH MEET 2025」を開催した。基調講演では、AI を活用して半導体製造装置やフィールドの生産性を向上する新コンセプト「Epsira (イプシラ)」について紹介した。 [続きを読む]