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業界ニュース

2025/12/22

原子層レベルで超精密に加工、サムコの原子層エッチング装置

サムコは、原子層レベルのエッチング制御を可能にした原子層エッチング (ALE) 装置を開発し、販売を始めた。窒化ガリウム (GaN) 系デバイスなどにおいて、加工時のダメージを低減できる。 [続きを読む]
提供元 : EE Times Japan

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