大日本印刷 (DNP) は、回路線幅が 10nm のナノインプリントリソグラフィ - (NIL) 用テンプレートを開発した。NAND 型フラッシュメモリに加え、1.4nm 世代相当の先端ロジック半導体にも対応できる。2027 年にも量産を始める予定だ。 [続きを読む]