リガクは、次世代メモリや AI チップなどの先端半導体製造ラインにおいて、ウエハーの膜厚や組成を高い精度で計測できるインライン X 線膜厚/密度モニター「XTRAIA MF-3400」を開発、販売を始めた。同社にとって第 4 世代となる新製品は、従来機に比べ測定能力が最大 2 倍となった。 [続きを読む]