2025/12/03 シェア 300mm ウエハーの全面膜厚を 5 秒で一括測定、浜松ホトニクス 浜松ホトニクスが最大 300mm ウエハーの全面膜厚を 5 秒で一括測定できる膜厚計を新開発した。従来の課題を解決する新手法を採用したもので、半導体製造の生産性向上を実現できるとしている。 [続きを読む] 提供元 : EE Times Japan
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