工学院大学の相川慎也氏らの研究グループは、熱処理を行わない酸化物薄膜トランジスタ (TFT) の製造プロセスを発表した。専用のガス供給装置などを用いずに大気中で完結する簡便なプロセスでありながら、耐熱性の低いプラスチック基板にも適用できるので、基板の選択肢が拡張する。 [続きを読む]