産業技術総合研究所 (産総研) 先端半導体研究センターは、国内半導体製造装置メーカー 3 社と共同研究した成果に基づき、GAA 構造のトランジスタを、300mm シリコンウエハー上に試作し、技術の検証などを行うことができる国内唯一の「共用パイロットライン」を構築した。 [続きを読む]