2025/09/12 シェア チップレット集積の歩留まり向上へ 高速なオーバーレイ測定を実現 EV Group (EVG) は、300mm ウエハー上で 100% のダイオーバーレイ測定を、従来に比べ最大 15 倍というスループットで行えるダイツーウエハー (D2W) オーバーレイ計測プラットフォーム「EVG40 D2W」を発表した。 [続きを読む] 提供元 : EE Times Japan
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