名古屋大学発スタートアップの Photo electron Soul (PeS) と名古屋大学の天野・本田研究室は、共同開発した GaN 系半導体フォトカソード技術を用いた検査・計測システムをキオクシア岩手に導入し、半導体デバイス製造工程での欠陥検出などについて評価を行うと発表した。 [続きを読む]