2025/08/29 シェア 光電融合デバイスに対応した干渉露光装置を開発、ウシオ電機 ウシオ電機は、独自の補償光学系によりピッチ精度 0.01nm を達成するとともに、位相シフト構造を形成する機能を備えた「干渉露光装置」を開発した。2027 年春にも販売を始める予定。 [続きを読む] 提供元 : EE Times Japan
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