2025/08/29 シェア 高解像度で高精度のダイレクト露光装置を開発、25 年度内に製品化 オーク製作所は、フォトマスクを使わずに半導体基板へ回路パターンを焼き付けることができる「ダイレクト露光装置」を開発した。より高い解像性や位置合わせ精度を実現できることから、先端半導体パッケージの製造コストを低減可能だという。 [続きを読む] 提供元 : EE Times Japan
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