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業界ニュース

2025/08/25

研磨速度が 30 倍も速い、GaN ウエハー用研磨パッド

ノリタケは、窒化ガリウム (GaN) ウエハー用の「研磨パッド」を開発した。研磨速度が速く加工時間を短縮できる。パッドの摩耗も少なく長期間の使用が可能となる。 [続きを読む]
提供元 : EE Times Japan

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