高エネルギー加速器研究機構 (KEK) は、エネルギー回収型線形加速器 (ERL) と自由電子レーザー (FEL) を組み合わせた「次世代 EUV (極端紫外線) 露光技術」の開発を始めた。既存の EUV 光源に比べ消費電力を 10 分の 1 に低減でき、「beyond EUV」と呼ばれる短波長化も比較的容易だという。 [続きを読む]