2025/01/21 シェア 微粒子が見える 半導体製造装置に実装可能な小型光源 パーティクルラボは、半導体製造工程などで発生するサブミクロンのコンタミネーション (汚染物質) を可視化できる「小型光源」を開発した。小型カメラと組み合わせた「コンタミ可視化システム」は、半導体製造装置などの内部にも容易に実装できる。 [続きを読む] 提供元 : EE Times Japan