業界ニュース

2024/11/05

シリコン貫通電極ウエハー全自動研削装置を開発

岡本工作機械製作所は、Si (シリコン) ウエハーの裏面から Si 貫通電極を露出させることができる「Si 貫通電極ウエハー全自動研削装置」を開発した。同装置を用いると、Si 貫通電極の形成プロセスを効率化でき、3 次元実装した半導体デバイスのコスト低減や歩留まりを向上させることが可能となる。 [続きを読む]
提供元 : EE Times Japan

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