2024/10/23 シェア L/S 1 μ m を実現するマスクレス露光装置 ニコンが開発へ ニコンが、アドバンストパッケージ向けに、1 μ m (L/S) の高解像度を実現するマスクレス露光装置の開発を進めている。2026 年度中の発売を予定しているという。 [続きを読む] 提供元 : EE Times Japan