ローデ・シュワルツから新たに絶縁プロービングシステムR&S®RT-ZISOがリリースされました

業界ニュース

2024/10/23

L/S 1 μ m を実現するマスクレス露光装置 ニコンが開発へ

ニコンが、アドバンストパッケージ向けに、1 μ m (L/S) の高解像度を実現するマスクレス露光装置の開発を進めている。2026 年度中の発売を予定しているという。 [続きを読む]
提供元 : EE Times Japan

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