2024/08/29 シェア プラズマ加工による半導体素子の劣化を定量評価 産業技術総合研究所 (産総研) は名古屋大学低温プラズマ科学研究センターと共同で、プラズマ加工による半導体素子へのダメージ量を、簡便かつ短時間で定量評価することに成功した。 [続きを読む] 提供元 : EE Times Japan
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