「EE Times Japan」に掲載した主要な記事を、読みやすい PDF 形式の電子ブックレットに再編集した「エンジニア電子ブックレット」。今回は、ASML が開発する「高 NA EUV 露光装置」に関して、その技術の概要や初号機が ASML から出荷され Intel に設置されるまでの過程などを伝えた記事をまとめました。 [続きを読む]