宇都宮大学や東京大学、広島大学らによる共同研究グループは、EUV (極端紫外) 露光装置の核となる EUV 光源を高効率化するためのマルチレーザービーム照射法を提案、実験によりその効果を実証した。EUV 変換効率は 2 ビーム照射で 4.7% となり、1 ビーム照射に比べ約 2.8 倍となった。 [続きを読む]