2023/09/15 シェア EUV 光源の変換効率 (理論値)、上限は 10.3% に 宇都宮大学や米国パデュー大学、北海道大学および、広島大学の共同研究グループは、極端紫外 (EUV) 光源の変換効率 (理論値) について、上限が 10.3% であることを示し、そのための指針も明らかにした。 [続きを読む] 提供元 : EE Times Japan
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