2023/02/08 シェア 北海道大ら、光源プラズマの複雑な流れを初観測 北海道大学は、半導体露光用 EUV 光源を構成する「プラズマの複雑な流れ」を観測することに成功した。プラズマの流れを制御すれば、EUV 光源の高出力化が可能になるという。 [続きを読む] 提供元 : EE Times Japan
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