業界ニュース

2021/09/22

JSR、EUV 露光用フォトレジストの米社を子会社に

JSR は、EUV (極端紫外線) 露光用のメタル系フォトレジストを手掛ける米国 Inpria の全株式を取得し、完全子会社にすることで合意した。規制当局の承認を得て、2021 年 10 月末には手続きを完了する予定である。 [続きを読む]
提供元 : EE Times Japan

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