2021/09/16 シェア 多層配線のビア抵抗を大幅に低減する「スーパービア」 今回は、奇数番号 (あるいは偶数番号) で隣接する配線層 (2 層上あるいは 2 層下の配線層) を接続するビア電極の抵抗を大幅に下げる技術、「スーパービア (supervia)」について解説する。 [続きを読む] 提供元 : EE Times Japan
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