業界ニュース

2021/09/09

高アスペクト比、バリアレス、エアギャップが 2nm 以降の配線要素技術

今回は、銅配線からルテニウム配線への移行と微細化ロードマップについて紹介する。 [続きを読む]
提供元 : EE Times Japan

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