業界ニュース

2021/09/01

3nm 以降の CMOS ロジックを支える多層配線技術

「IEDM2020」の講演内容を紹介するシリーズ。今回から、「次世代の多層配線 (BEOL) 技術」の講演内容を紹介していく。 [続きを読む]
提供元 : EE Times Japan

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