業界ニュース

2020/11/30

銅配線の微細化限界を拡張するサブトラクティブ技術

前回に続き、配線プロセスの代表であるダマシン技術とサブトラクティブ技術を解説する。 [続きを読む]
提供元 : EE Times Japan

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