2020/11/25 シェア 銅配線の微細化限界を左右するダマシン技術 今回は、配線製造プロセスの基本部分である、配線パターンの形成技術「ダマシン (damascene) 技術」と「サブトラクティブ (subtractive) 技術」にについて解説する。 [続きを読む] 提供元 : EE Times Japan
pc.png)