2020/07/03
FinFET や GAA にも適用可能なエアスペーサー形成技術
オンラインで開催された半導体デバイス/回路技術に関する国際会議「VLIS シンポジウム 2020」(2020 年 6 月 15 ~ 18 日/ハワイ時間) で、IBM Research の研究グループは先端 CMOS にエアスペーサーを導入する技術を発表した。 [続きを読む]
提供元 : EE Times Japan