2020/06/29 シェア SCREEN、200mm ウエハー対応の洗浄装置を発売 SCREEN セミコンダクターソリューションズは、直径 200mm までのウエハー処理に適したスピンプロセッサ (枚葉式洗浄装置)「SP-2100」の販売を始めた。 [続きを読む] 提供元 : EE Times Japan
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