業界ニュース

2020/06/29

SCREEN、200mm ウエハー対応の洗浄装置を発売

SCREEN セミコンダクターソリューションズは、直径 200mm までのウエハー処理に適したスピンプロセッサ (枚葉式洗浄装置)「SP-2100」の販売を始めた。 [続きを読む]
提供元 : EE Times Japan

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