2020/05/13 シェア 住友電工が高品質 6 インチ SiC 基板を製品化 住友電気工業は 2020 年 5 月 11 日、低転位密度で厚みバラツキや反りを低減したパワーデバイス用 6 インチ (150mm 径) SiC (炭化ケイ素) 単結晶基板の開発に成功したと発表した。 [続きを読む] 提供元 : EE Times Japan
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