産業技術総合研究所 (産総研) は、走査型電子顕微鏡 (SEM) 中で行うエネルギー分散型 X 線分光法 (EDS) 計測を用いた元素分析において、これまでより 2 桁以上も高い空間分解能で可視化する技術を開発した。 [続きを読む]