業界ニュース

2019/09/19

次世代メモリの本格量産を可能にする新 PVD 装置

アプライド マテリアルズ ジャパンは、東京都内で記者説明会を行い、MRAM (磁気抵抗メモリ) や ReRAM (抵抗変化型メモリ) など新型メモリの量産を可能にする PVD (物理蒸着) 装置について、その特長などを紹介した。 [続きを読む]
提供元 : EE Times Japan

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