2019/03/15 シェア プラズマダイサー用レジスト塗布の手法を提供 パナソニック スマートファクトリーソリューションズ (PSFS) とオーストリアのイーヴィグループ (EVG) は、プラズマダイシング工法の前工程で必要となるレジスト塗布について連携し、2019 年 3 月 13 日より新たなソリューションの提供を始めた。 [続きを読む] 提供元 : EE Times Japan