2018/11/06 シェア 最先端のドライエッチング技術 - マルチ・パターニングと HARC- 今回は、最先端のドライエッチング技術として、マルチ・パターニングと HARC (High Aspect Ratio Contact) について解説する。 [続きを読む] 提供元 : EE Times Japan
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