業界ニュース

2018/11/06

NIMS、単結晶ダイヤモンド MEMS チップを開発

物質・材料研究機構 (NIMS) は、室温における品質因子 (Q 値) が 100 万以上と極めて高い「ダイヤモンドカンチレバー」を開発した。カンチレバー上に振動をセンシングする電子回路などを集積した単結晶ダイヤモンド MEMS センサーチップの開発にも成功した。 [続きを読む]
提供元 : EE Times Japan

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