2026/08/18 シェア 荏原製作所、半導体業界向け極低温チラーを初出荷 荏原製作所は、半導体業界向けに -60 ℃極低温チラー「RJ-TTC 型」を開発、出荷を始めた。初出荷した新製品は、従来品に比べ電力・水の消費量を最大で半減できるという。 [続きを読む] 提供元 : EDN Japan
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