2026/07/22 シェア 30 年前に関わった半導体用温調器、調査で判明した設計の盲点 修理を指導している友人から、技術支援の依頼があった。聞けば、筆者が 30 年ほど前、半導体製造装置の業務に従事していた時に関わった温調器に関する問題だったため、少し踏み込んで調べてみることにした。 [続きを読む] 提供元 : EDN Japan
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