2026/06/26 シェア スループット 30% 向上 ニコンの先端パッケージ向け露光装置 ニコンは、アドバンストパッケージング向けデジタル露光装置のラインアップを拡充する。解像度 1.5 μ m (L/S) の製品を開発中で、2027 年度内の発売を予定する。 [続きを読む] 提供元 : EDN Japan
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