オキサイドは、半導体検査向けの DUV レーザー「QCW Kalama」シリーズに、波長 266nm の高出力モデル (標準 8W、最大 12W) と波長 193nm モデルを追加した。ラインアップ拡充により、検査の高感度化や新分野への応用が可能になる。 [続きを読む]